Urbánek, M., Krátký, S., Matějka, M., Kolařík, V. a Horáček, M. (2014) „Plazmochemické leptání křemíku v zařízení Diener nano", Chemické listy, 108(6), s. 592–595. Dostupné z: http://ww-w.chemicke-listy.cz/ojs3/index.php/chemicke-listy/article/view/485 (Viděno: 23 prosinec 2024).